uji keranjang bunga adalah uji yang dipasang antara pembersihan sebelum pemeriksaan dan pemisahan wafer silikon. hapus wafer silikon yang cacat untuk mengurangi kemungkinan waktu henti mesin pemisahan, sehingga meningkatkan kapasitas produksi secara keseluruhan.
Bagikan
1) latar belakang proyek:
Persyaratan proyek:
karena sisa silikon yang rusak di mesin pemisahan silikon, yang mengakibatkan downtime, perlu untuk secara manual menghapus silikon yang rusak di mesin, yang membutuhkan waktu yang lama dan secara langsung mempengaruhi kapasitas produksi. pelanggan perlu mengeluarkan wafer silikon yang rusak di luar mesin pemisahan, dan menyisihkan ruang pembuangan untuk beberapa kelompok keranjang bunga, sehingga seorang pekerja dapat
persyaratan teknis:
wafer silikon dalam wadah diuji secara keseluruhan untuk mendeteksi apakah wafer silikon dalam keranjang bunga memiliki banyak potongan, beberapa potongan, potongan tebal, potongan yang rusak, dan apakah wafer silikon memiliki gigi yang salah. produk yang cacat dipilih untuk meningkatkan hasil. waktu CT yang diperlukan adalah dalam 3 s.
2) Arsitektur solusi:
Skema ini menggunakan 5 juta kamera array area kecil dan platform pengembangan algoritma VM untuk mewujudkan deteksi wafer silikon keranjang bunga.
(1) gagasan proses:
(2) ide pemilihan: target deteksi adalah wafer silikon dalam keranjang bunga. untuk menjaga stabilitas fitur dan menghindari perbedaan ketinggian yang tidak terdeteksi yang disebabkan oleh sudut kejadian yang berlebihan, cahaya permukaan 4 lubang dipilih untuk menutupi bidang pandang pencitraan, dan sudut kejadian kamera dikurangi dan risiko perbedaan ketinggian yang tidak terdeteksi dikurangi dengan deteksi berturut
(3) ide debugging: menyesuaikan pencitraan paparan, sehingga wafer silikon di setiap tingkat kamera pencitraan abu-abu kira-kira bersatu, untuk memastikan tepi wafer silikon dan latar belakang 1 sampai 2 pixel kualitas pencitraan zona transisi, menyesuaikan posisi sensor dan memeriksa dengan listrik, sejauh mungkin untuk memastikan bahwa keranjang bunga di pusat
3) Keuntungan dari program:
1. kualitas gambar: kecerahan seragam, tidak ada deformasi peregangan, zona transisi tepi jelas.
2. waktu algoritma: komputer industri 1 drag 8, deteksi sabuk pengangkut ganda dan stabilitas membutuhkan 2s.
Adaptifitas adegan: tingkat kesalahan < 1%, tingkat deteksi palsu < 1%.
4. nilai pelanggan: tindakan mengambil wafer silikon yang rusak dilaksanakan di luar mesin pemisahan, dan ruang tata letak dari beberapa kelompok keranjang bunga disediakan, sehingga seorang pekerja dapat memperhitungkan beberapa baris, mencapai peningkatan produktivitas sambil menghindari sejumlah besar investasi personil.
EN
