la prova del cesto di fiori è la prova installata tra la pulizia prima dell'ispezione e la selezione delle wafer di silicio.
Condividere1) antecedenti del progetto:
Requisiti del progetto:
a causa del silicio danneggiato residuo nella macchina di smistamento del silicio, con conseguente tempo di inattività, è necessario rimuovere manualmente il silicio rotto nella macchina, il che richiede molto tempo e influisce direttamente sulla capacità produttiva. il cliente deve portare fuori la wafer di silicio rotto fuori dalla macchina di smistamento
requisiti tecnici:
il wafer di silicio nel contenitore viene testato nel suo complesso per rilevare se il wafer di silicio nel cestino di fiori ha molti pezzi, pochi pezzi, pezzi spessi, pezzi rotti e se il wafer di silicio ha denti sbagliati. i prodotti difettosi vengono selezionati per migliorare il rendimento. il tempo
2) Architettura delle soluzioni:
Il progetto utilizza 5 milioni di telecamere a piccola area e una piattaforma di sviluppo di algoritmi VM per realizzare il rilevamento di wafer di silicio da cestini di fiori.
(1)idea di processo:
(2) idea di selezione: il bersaglio di rilevamento è il wafer di silicio nel cestino di fiori. al fine di mantenere la stabilità della caratteristica ed evitare la differenza di altezza di rilevamento mancato causato dall'angolo di incidenza eccessivo, la luce superficiale a 4 fori viene selezionata per
(3) idee di debug: regolare l'immagine di esposizione, in modo che il wafer di silicio in ogni livello di grigio di imaging della fotocamera è approssimativamente unificato, per garantire il bordo del wafer di silicio e il fondo 1 a 2 pixel qualità di immagine di transizione zona, regolare la
3) vantaggi del programma:
1. qualità dell'immagine: luminosità uniforme, nessuna deformazione di allungamento, zona di transizione dei bordi chiara.
2. tempo di algoritmo: computer industriale 1 drag 8, rilevamento a doppia nastro trasportatore e stabilità 2s.
3. adattabilità alla scena: tasso di errori < 1%, tasso di falso rilevamento < 1%.
4. valore per il cliente: l'azione di rimozione del wafer di silicio rotto viene realizzata al di fuori della macchina di smistamento e lo spazio di disposizione di più gruppi di cestini di fiori è riservato, in modo che un lavoratore possa tenere conto di più linee, ottenere un miglioramento della produttività evitando un grande investimento di personale