꽃바구니 테스트는 실리콘 웨이퍼 검사 전 세척과 분류 사이에 설치된 테스트입니다. 불량 실리콘 웨이퍼를 제거하여 분류기 다운타임을 줄이고 전체 생산 능력을 높입니다.
공유1). 프로젝트 배경:
프로젝트 요구사항:
실리콘 정렬기 내 잔존 손상된 실리콘으로 인해 정지 시간이 발생하여, 기계 내부의 부서진 실리콘을 수동으로 제거해야 하며 이는 많은 시간이 걸려 생산 능력에 직접적인 영향을 미칩니다. 고객은 정렬기 외부에서 부서진 실리콘 웨이퍼를 제거하고 여러 그룹의 꽃 바구니에 대한 배출 공간을 예비해야 하며, 이를 통해 한 명의 작업자가 여러 라인을 동시에 관리할 수 있어 생산성을 향상시키면서도 대규모 인력 투자를 피할 수 있습니다.
기술 요구사항:
컨테이너 내의 실리콘 웨이퍼는 전체적으로 테스트되어 꽃 바구니의 실리콘 웨이퍼가 과다하거나 부족하거나 두껍거나 부서졌거나 잘못 배열되었는지를 감지합니다. 불량품은 선별되어 수율이 향상됩니다. 필요한 CT 시간은 3초 이내입니다.
2). 솔루션 아키텍처:
이 방안은 5백만 화소 소형 배열 카메라와 VM 알고리즘 개발 플랫폼을 사용하여 꽃 바구니 실리콘 웨이퍼의 검출을 실현합니다.
(1)공정 아이디어:
(2)선택 아이디어: 검출 대상은 꽃 바구니 안의 실리콘 웨이퍼입니다. 특징의 안정성을 유지하고 과도한 입사각으로 인해 발생할 수 있는 높이 차이 누락 검출을 피하기 위해 4홀 표면광을 선택하여 영상 필드를 커버하고, 여러 카메라와 다수의 영역에 의한 연속 검출로 카메라의 입사각을 낮추고 높이 차이 누락 검출 위험을 줄입니다.
(3)디버깅 아이디어: 노출 영상을 조정하여 각 카메라에서 촬영된 실리콘 웨이퍼의 회색 레벨이 대략 일치하도록 하고, 실리콘 웨이퍼 가장자리와 배경 사이의 1~2픽셀 전이 구역의 영상 품질을 보장하며, 센서 위치를 조정하고 전기적 확인을 통해 가능한 한 카메라 내 꽃 바구니의 영상 중심을 유지합니다.
3). 프로그램의 장점:
1. 이미지 품질: 균일한 밝기, 늘어남 변형 없음, 가장자리 전환 영역이 선명함.
2. 알고리즘 시간: 산업용 컴퓨터 1대가 8개를 끌고, 이중 컨베이어 벨트 검출 및 안정화에 2초 걸림.
3. 시나리오 적응성: 누락율 <1%, 오검출률 <1%.
4. 고객 가치: 파손된 실리콘 웨이퍼를 꺼내는 작업은 분류기 외부에서 수행되며, 여러 그룹의 꽃 바구니 배치 공간이 예약되어 있어 한 명의 작업자가 여러 라인을 동시에 처리할 수 있도록 하여 생산성을 향상시키면서 대규모 인력 투자를 방지함.