O ensaio do cesto de flores é o ensaio instalado entre a limpeza antes da inspecção e a triagem das obleas de silício.
Partilhar1) antecedentes do projecto:
Requisitos do projeto:
devido ao silício danificado residual na máquina de triagem de silício, resultando em tempo de inatividade, é necessário remover manualmente o silício quebrado na máquina, o que leva muito tempo e afeta diretamente a capacidade de produção. o cliente precisa tirar a bolacha de silício quebrada do lado de fora da
Requisitos técnicos:
A bolacha de silício no recipiente é testada como um todo para detectar se a bolacha de silício na cesta de flores tem muitos pedaços, poucos pedaços, pedaços grossos, pedaços quebrados e se a bolacha de silício tem dentes errados. os produtos defeituosos são selecionados para melhorar o rendimento
2) Arquitetura de soluções:
O projeto utiliza 5 milhões de câmaras de pequena área e uma plataforma de desenvolvimento de algoritmos de VM para realizar a detecção de wafers de silício de cestas de flores.
(1) Ideia de processo:
(2) ideia de selecção: o alvo de detecção é a bolacha de silício no cesto de flores. a fim de manter a estabilidade da característica e evitar a diferença de altura não detectada causada pelo ângulo de incidência excessivo, a luz de superfície de 4 buracos é selecionada para cobrir o campo de visão
(3) ideias de depuração: ajuste a imagem de exposição, de modo que a bolacha de silício em cada nível de cinza de imagem da câmera é aproximadamente unificada, para garantir a borda da bolacha de silício e fundo 1 a 2 pixel qualidade de imagem da zona de transição, ajuste a posição do
3) Vantagens do programa:
1. qualidade da imagem: brilho uniforme, sem deformação de alongamento, zona de transição de borda clara.
2. tempo do algoritmo: computador industrial 1 drag 8, detecção de dupla correia transportadora e estabilidade leva 2s.
3. adaptabilidade ao cenário: taxa de erros < 1%, taxa de detecção de erros < 1%.
4. valor para o cliente: a acção de retirar a bolacha de silício quebrada é realizada fora da máquina de triagem, e o espaço de arranjo de vários grupos de cestos de flores é reservado, de modo que um operário possa ter em conta várias linhas, obter melhorias na produtividade, evitando um grande investimento de pessoal.