Der Blumenkorb-Test ist der Test, der zwischen der Reinigung vor der Inspektion und der Sortierung der Siliziumwafer installiert wird. Defekte Siliziumwafer werden entfernt, um die Ausfallzeiten des Sortiergeräts zu reduzieren und damit die Gesamtfertigungskapazität zu erhöhen.
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1). Projekthintergrund:
Projektanforderungen:
Aufgrund des verbleibenden beschädigten Siliziums im Silizium-Sortierer, was zu Standzeiten führt, ist es notwendig, das gebrochene Silizium manuell aus der Maschine zu entfernen, was viel Zeit in Anspruch nimmt und direkt die Produktionskapazität beeinflusst. Der Kunde muss das gebrochene Silizium außerhalb des Sortierers herausnehmen und Platz für die Entladeräume mehrerer Blumenkörbe reservieren, sodass ein Arbeiter mehrere Linien gleichzeitig überwachen kann, um die Produktivität zu steigern, während gleichzeitig ein hoher Personaleinsatz vermieden wird.
Technische Anforderungen:
Das Siliziumwafer im Container wird insgesamt getestet, um festzustellen, ob das Wafer im Blumenkorb viele Stücke, zu wenige Stücke, dicke Stücke, gebrochene Stücke oder falsch positionierte Zähne aufweist. Defekte werden sortiert, um den Ausbeutezuwachs zu verbessern. Die benötigte CT-Zeit beträgt weniger als 3 Sekunden.
2). Lösungsarchitektur:
Das Konzept verwendet eine 5-Megapixel-Kleinflächen-Array-Kamera und die VM-Algorithmus-Entwicklungsplattform, um die Prüfung der Siliziumwafer im Blumenkorb durchzuführen.
(1)Prozessidee:
(2) Auswahlidee: Das Erkennungsziel ist die Siliziumwafer im Blumenkorb. Um die Stabilität der Merkmale zu gewährleisten und eine Fehldetektion durch einen zu großen Einfallswinkel zu vermeiden, wird das 4-Loch-Oberflächenlicht ausgewählt, um den Bildaufnahmebereich abzudecken. Durch nachfolgende Erkennung mit mehreren Kameras und mehreren Bereichen wird der Einfallswinkel der Kamera reduziert und das Risiko einer Fehldetektion bei Höhenunterschieden verringert.
(3) Debugging-Ideen: Einstellen der Belichtungsaufnahme, so dass die Grauwerte der Siliziumwafer in jedem Kamerabild ungefähr einheitlich sind, um die Bildqualität des Übergangsgebiets von 1 bis 2 Pixeln am Rand der Siliziumwafer zur Hintergrund zu gewährleisten. Anpassen der Sensorposition und elektrische Überprüfung, soweit möglich, um sicherzustellen, dass der Blumenkorb im Zentrum der Kamerabildaufnahme liegt.
3). Programmvorteile:
1. Bildqualität: gleichmäßige Helligkeit, keine Streckverformungen, klare Kantenübergangszone.
2. Algorithmuszeit: Industrie-PC 1 zieht 8, doppelte Förderbandüberprüfung und Stabilität dauern 2s.
3. Szenen-Anpassungsfähigkeit: Fehlrate <1%, Falschdetektionsrate <1%.
4. Kundenwert: Das Herausnehmen der beschädigten Siliziumwafer erfolgt außerhalb der Sortiermaschine, wobei Platz für mehrere Blumenkörbe reserviert ist, sodass ein Arbeiter mehrere Linien überwachen kann, was eine Steigerung der Produktivität ermöglicht, während gleichzeitig ein hoher Personaleinsatz vermieden wird.
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